特点

• 双绕式涡旋泵,含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
• 干式真空泵的最高压力水平。
• 内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。
• 通过空气冲洗抑制水分凝结。

• 用途

  • 分析设备
  • 气体回收系统
  • 涂装设备
  • TMP的背泵
  • 氦气检漏仪
  • 半导体制造工艺

  • 规格（DIS-90）

    	Unit	50Hz	60Hz
    设计排气速度度※1	L/min	90	108
    极限压力	Pa (kPa)	5
    使用电动机※2		单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动?運転
    全负荷电流	A	2.6/1.3/1.6	2.1/2.2/1.1/1.1
    		(100/200/230V)	(100/115/200/230V)
    重量	kg	14
    吸气口径		KF-25
    排气口径		KF-16
    使用环境温度范围	℃	5～40
    水蒸气处理量	g/day	≦5 以下 （AF開時※3, 室温25℃, 湿度60％以下）
    噪音水平	dB	≦52 （AF開時※3, ≦57）
    最大尺寸	mm	214(W)×308(L)×225(H)

    ※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
    ※2：不包括电源插头和电源线。
    ※3：AF = Air Flash
    空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。

    对应标准/电压

    型号	认证标准※	ＣＥ自我宣言	1Φ 100V系	1Φ 200V系	3Φ 200V系	3Φ 400V系
    DIS-90	cTUV	●	● （可以通过更换端子板切换）		－	－

    ●：标准、○：可选对应、－：对应不可
    ※ｃＴＵＶｕｓ认证 ： 本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证，符合美国标准的高质量产品。
     

    使用上的注意

    １	粉末和生成物吸入会导致泵损坏。 请使用吸气阱。
    ２	吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。

    尺寸图

    

     

     

    排气速度曲线

     

    

规格（DIS-252）

项目	单位	50Hz	60Hz
设计抽速	L/min	250	300
极限压力	Pa	1.6
电机	W	400
重量	kg	25
进出气管道直径	mm	KF-25/KF-16
环境温度	℃	5～40
尺寸	mm	264(W) × 397(L) × 338(H)
RoHS对应		●

以上质量为单相规格。 三相规格的重量为23.0 kg。
以上最大尺寸适用于单相规格。 三相规格的最大尺寸为264(W)×367(L)×338(H)。

 

电源电压

电压	认证
单相, 100V/115V/200V/230V	CE, cTUV
三相, 200V/208V/230V/380V/400V/415V/460V	CE, cTUV

TUV认证是由执行产品安全测试及认证的国际第三方组织审查，符合欧洲规格的高品质产品。

 

尺寸图

 

排气速度曲线

 

规格（DIS-501）

		Unit	50Hz	60Hz
设计排气速度度※1		L/min	500	600
极限压力		Pa	1
使用电动机※2	单相		100/115/200/230V, 600W, 4P , 电容器启动?運転
	三相		200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P
全负荷电流	单相	A	8.5/4.3/3.9	10.0/8.6/4.8/4.0
			(100/200/230V)	(100/115/200/230V)
	三相		2.7/1.57/1.57/1.63	2.8/2.6/2.5/1.47
			(200/380/400/415V)	(200/208/230/460V)
重量	单相	kg	44
	三相		38
吸气口径			KF-40
排气口径			KF-25
使用环境温度范围		℃	5～40
水蒸气处理量		g/day	≦25以下（AF开时※3, 室温25℃, 湿度60％以下）
噪音水平	单相	dB	≦62（AF開時※3, ≦70）
	三相		≦60（AF開時※3, ≦68）
最大尺寸	单相	mm	290(W)×443(L)×397(H)
	三相		292(W)×372(L)×397(H)

※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

型号	认证标准※	ＣＥ自我宣言	1Φ 100V系	1Φ 200V系	3Φ 200V系	3Φ 400V系
DIS-501	cTUV	●	● （可以通过更换端子板切换）		● （可以通过更换端子板切换）

●：标准、○：可选对应、－：对应不可
※ｃＴＵＶｕｓ认证 ： 本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证，符合美国标准的高质量产品。

 

使用上的注意

１	粉末和生成物吸入会导致泵损坏。 请使用吸气阱。
２	吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。
３	三相规格没有电机保护功能。 请务必安装保护装置，如漏电断路器。

 

 

 

 

 

尺寸图

DIS-501（Single phase）

 

 

 

 

 

DIS-501（Three phase）

 

 

 

 

排气速度曲线