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爱发科ULVAC 射频RF电源
型号：RFS系列
品牌：爱发科ULVAC
产品说明

 请联系13862055048+微信！！！

RFS-N 系列是 13.56MHz、0.5kW/1/kW/3kW/5kW 输出射频电源，用于等离子体处理。 配备高效射频放大器，体积小、重量轻。


此外，射频电源具有内置的自动匹配控制器功能，因此可以只用主机来控制射频电源和匹配系统的功率。

  • RFS-1305N/RFS-1310N

  • RFS-1330N/RFS-1350N

  • MBX-1305N/MBX-1310N

  • MBX-1330N

  • MBX-1350N

特点

  • 通过安装具有高功率转换效率的射频电路来实现节能。
  • 通过高速算法进行高速自动匹配
  • 射频电源内置自动匹配功能
  • 可进行外部模拟控制和串行通信控制。
  • 通过基于作为设备制造商多年积累的专业知识进行设计，实现压倒性的可靠性。

 

规格

“Model:RF” RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N
输入规格 输入额定电压 单相的 AC200 - 220V 三个阶段 AC200 - 220V
输入电容 1.2 kVA 或更低 1.8 kVA或更低 5 kVA或更低 8 kVA或更低
输出规格 振荡频率 13.56MHz
最大额定功率 500W（50Ω 负载下） 1000W（50Ω 负载下） 3000W（50Ω 负载下） 5000W（50Ω 负载下）
输出连接 N型 HN型 DIN 7/16
冷却方式 强制风冷 强制风冷+水冷式
无需冷却水 流量 4L/min 流量 6L/min
尺寸（W×D×H） 不包含突起 240 x 495 x 150(mm) 480 × 500 × 150(mm)
质量 约11kg 约23kg
法规遵从性 CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS
 
 
 

 

 

匹配框格式 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N
输入功率 30～500W 30～1000W 30～3000W 50～5000W
允许输出电流 30Arms 80Arms 120Arms
允许输出电压 2500Vpp 5000Vpp 10000Vpp
冷却方式 强制风冷 水冷 （2L/min）
尺寸（W×D×H） 不包含突起 375 × 250 ×120(mm) 375 × 250 × 170(mm) 450 × 500 × 248(mm)
质量 约8kg 约10kg 约21kg
法规遵从性 CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS

 

 

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